精密仪器种类繁多、结构各异。对于用于测量的精密仪器而言，可将其结构分为基准、感受转换、转换放大传输、瞄准/读数、数据处理、显示记录、驱动控制、机械结构等八大功能部件。但并不是说一台精密仪器中必须包含上述八大功能部件，而是应根据仪器功能的要求有所选择。

1．基准部件

基准部件为测量提供标准量，测量结果均须与之比较方能得到准确的测量值。因此，它是决定精密仪器精度的主要环节。

基准器件的种类很多，如用于几何量（长度和角度）测量的标准器件：量块、精密测量丝杠、线纹尺、度盘、多面棱体、多齿分度盘、光栅尺（盘）、磁栅尺（盘）、感应同步器、光波等。对于复杂参数，有渐开线样板、表面粗糙度样板等标准件，还有提供标准运动的标准圆运动、渐开线运动和齿轮运动装置。此外还有标准硬度块、频率计，以及时间、照度、流量、色度、激光参数、温度、测力、称重等标准。可根据需要选取。

2．感受转换部件

感受转换部件感受被测量，拾取原始信号以便进一步转换、处理和分析。其精度直接影响整个仪器的精度。

有的仪器的感受转换部件仅起感受原始信号的作用，有的同时还进行一次信号的转换。感受转换部件有两大类：一类为接触式的，如各种机械式探头；一类为非接触式的，如气动非接触测头、光学探头、红外线、涡流测头、拾音器等。